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    超大幅面激光蝕刻機

    型號:SC-K2100


    行業(yè)應用:應用于100寸超大尺寸工業(yè)教學用電阻、電容式觸摸屏銀漿、ITO、各類金屬導電膜、太陽能光伏硅基板薄膜等產(chǎn)品的蝕刻工藝

    機器優(yōu)點

    激光蝕刻為干式蝕刻,加工制程簡單,所有加工均由軟件自動控制,產(chǎn)品一致性高,良率高達99%;

    最小蝕刻線寬20μm,支持銀漿線路和ITO一次性同時蝕刻,輕松實現(xiàn)單層多點電容屏傳感器線路蝕刻;

    支持CCD視覺自動尋靶,一次性可加工2850mm×1300mm范圍,拼接精度≤±5mm,非常適合大屏幕銀漿或導電氧化物薄膜線路蝕刻;

    支持多種視覺定位特征,500萬像素單點抓靶時間小于1s,克服了印刷變形過大導致激光蝕刻偏位的問題,定位精度≤±3μm;

    激光蝕刻機5萬小時無耗材,免維修,使用成本低,替代黃光制程。

    規(guī)格參數(shù)
    光學單元
    序號項目參數(shù)
    01激光器類型1064nm(納秒&皮秒)可選
    02激光功率20W-50W可選
    03光束質量M2<1.3
    04聚焦方式&加工頭數(shù)平場聚焦鏡、單頭/雙頭
    06最小聚焦光斑直徑Φ15μm
    激光加工性能
    序號項目參數(shù)
    01加工速度1000-4000mm/s
    02最小蝕刻線寬20μm
    03蝕刻線寬精度
    ±1.5μm
    04最大工作范圍2.85m*1.3m任意自動拼接
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